显影液浓度的验证方法

摘要

一种显影液浓度的验证方法，包括以下步骤：步骤一，将涂覆有光刻胶的圆片的曝光区域划分为多个小块，对每个小块依次使用递增或递减的曝光能量进行曝光，并记录下每个小块的曝光能量值；步骤二，使用被验证的显影液对所述光刻胶进行显影；步骤三，找出与显影液反应充分和不充分的分界处第一个反应充分的小块，并查出对应的曝光能量值；步骤四，将步骤三中查出的曝光能量值与标准值进行对比，从而判定显影液浓度是否达标。本发明的方法成本低、速度快、操作便捷，可以简单、快速的确认显影液的浓度是否异常，因此可以大大降低成本并提高生产效率。

主权项

一种显影液浓度的验证方法，包括以下步骤：步骤一，将涂覆有光刻胶的圆片的曝光区域划分为多个小块，对每个小块依次使用递增或递减的曝光能量进行曝光，并记录下每个小块的曝光能量值；步骤二，使用被验证的显影液对所述光刻胶进行显影；步骤三，找出与显影液反应充分和不充分的分界处第一个反应充分的小块，并查出对应的曝光能量值；步骤四，将步骤三中查出的曝光能量值与标准值进行对比，从而判定显影液浓度是否达标。