发明名称 |
双粒径二氧化硅溶胶及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种双粒径二氧化硅溶胶,包括两个粒径范围:一个粒径范围为50~100nm,一个粒径范围为150~200nm。本发明还提供了一种制备双粒径二氧化硅溶胶的方法,以粒径均匀,大小为80nm,比重为1.15~1.25的碱性二氧化硅溶胶为晶种制成。本发明的双粒径二氧化硅溶胶的制备方法,具有方法简单、制备出的二氧化硅溶胶有较长的储藏期,适用于金属、半导体、存储器硬盘基片、化合物晶体、精密仪器等的化学机械抛光。 |
申请公布号 |
CN102372273A |
申请公布日期 |
2012.03.14 |
申请号 |
CN201110242293.0 |
申请日期 |
2011.08.23 |
申请人 |
南通海迅天恒纳米科技有限公司 |
发明人 |
李家荣;关飞飞;王航波 |
分类号 |
C01B33/14(2006.01)I;C01B33/113(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/14(2006.01)I |
代理机构 |
南京正联知识产权代理有限公司 32243 |
代理人 |
卢霞 |
主权项 |
双粒径二氧化硅溶胶,其特征在于,包括两个粒径范围:一个粒径范围为50~100 nm,一个粒径范围为150~200 nm。 |
地址 |
226600 江苏省南通市海安县经济开发区精细化工园11号 |