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发明名称 DEVICE FOR THE PROGRAMMED TRACING OF DESIGNS BY PARTICLE BOMBARDMENT
摘要
申请公布号 GB1529819(A) 申请公布日期 1978.10.25
申请号 GB19750050720 申请日期 1975.12.10
申请人 THOMSON CSF 发明人
分类号 B43L13/00;G06F17/50;G06T1/00;H01J37/30;H01J37/302;H01L21/027;(IPC1-7):G05B15/02 主分类号 B43L13/00
代理机构 代理人
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