| 发明名称 |
POLISHING AGENT, CONCENTRATED ONE-PACK TYPE POLISHING AGENT, TWO-PACK TYPE POLISHING AGENT AND METHOD FOR POLISHING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20120024881(A) |
申请公布日期 |
2012.03.14 |
| 申请号 |
KR20117031480 |
申请日期 |
2010.09.14 |
| 申请人 |
HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD. |
发明人 |
RYUZAKI DAISUKE;NARITA TAKENORI;HOSHI YOUSUKE;IWANO TOMOHIRO |
| 分类号 |
H01L21/304;B24B37/00;B24B37/04;C09K3/14 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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