一种复合型波带片光子筛

摘要

本发明公开了一种复合型波带片光子筛，包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，所述不透光的金属薄膜上分布有一系列透光环带和若干透光小孔。其中，透光平面可以为熔融石英、普通玻璃、有机玻璃等透光材料，不透光薄膜为透光衬底上制备的一层铬、金、铝、铜等金属挡光层，透光环带和透光小孔所在的位置没有金属挡光层。相对于菲涅尔波带片，本发明提供的复合型波带片光子筛可以提高数值孔径，提高成像分辨率。随机分布的透光小孔之间可以形成干涉，从而能够有效的抑制光轴方向的旁瓣效应和高阶衍射；相对于普通光子筛，本发明提供的复合型波带片光子筛能够有效提高衍射效率，从而提高成像对比度。

主权项

一种复合型波带片光子筛，其特征在于，包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，所述不透光的金属薄膜上分布有一系列透光环带和若干透光小孔。