发明名称 硅片运载装置
摘要 本实用新型提供了一种硅片运载装置,包括:设置有轨道的支撑架(1),所述轨道(12)上设置有轮槽(121);和位于所述支撑架(1)上,且设置有与所述轮槽(121)滚动配合的硅胶滚轮(22)的承载小车。本实用新型提供的硅片运载装置减少了硅片在运输过程中的破损,进而降低了硅片生产厂家的生产成本。
申请公布号 CN202163829U 申请公布日期 2012.03.14
申请号 CN201120264752.0 申请日期 2011.07.25
申请人 浙江思博恩新材料科技有限公司 发明人 刘琴
分类号 B65G21/22(2006.01)I 主分类号 B65G21/22(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 逯长明
主权项 一种硅片运载装置,其特征在于,包括:设置有轨道的支撑架(1),所述轨道(12)上设置有轮槽(121);和位于所述支撑架(1)上,且设置有与所述轮槽(121)滚动配合的硅胶滚轮(22)的承载小车。
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