发明名称 |
一种采用相位检测实现射频电源自动跟踪调谐的装置 |
摘要 |
一种采用相位检测实现射频电源自动跟踪调谐的装置,涉及一种射频电源的调谐匹配装置,它包括功率检测模块、相位检测模块、电容调谐控制模块1、电容调谐控制模块2、偏压检测模块、单片机模块及串口通信模块;其中功率检测模块分别与相位检测模块、射频源相连,相位检测模块与电容调谐控制模块2相连,电容调谐控制模块2与电容调谐控制模块1相连,电容调谐控制模块1与偏压检测模块相连,功率检测模块、相位检测模块、电容调谐控制模块1、电容调谐控制模块2、偏压检测模块分别与单片机相连,单片机又通过RS-485(或RS-232)串口与计算机相连,具有调谐速率快、调谐成功率高、跟踪调谐、功率数字显示及恒功率输出等特点。 |
申请公布号 |
CN202168023U |
申请公布日期 |
2012.03.14 |
申请号 |
CN201120099638.7 |
申请日期 |
2011.04.08 |
申请人 |
沈阳宝力科技有限公司 |
发明人 |
王文君;吴向方;关玉林;王兴刚;孙兆松 |
分类号 |
H02P5/52(2006.01)I |
主分类号 |
H02P5/52(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种采用相位检测实现射频电源自动跟踪调谐的装置,其特征在于:包括功率检测模块、相位检测模块、第一电容调谐控制模块(1)、第二电容调谐控制模块(2)、偏压检测模块、单片机模块及串口通信模块;其中功率检测模块分别与相位检测模块、射频源相连,相位检测模块与第二电容调谐控制模块(2)相连,第二电容调谐控制模块(2)与第一电容调谐控制模块(1)相连,第一电容调谐控制模块(1)与偏压检测模块相连,功率检测模块、相位检测模块、第一电容调谐控制模块(1)、第二电容调谐控制模块(2)、偏压检测模块分别与单片机相连,单片机又通过RS‑485或RS‑232串口与计算机相连。 |
地址 |
110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18号M座一层107室 |