一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器

摘要

本发明公开一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器，具有探测灵敏度高，响应速度快，室温工作，结构紧凑可大规模集成的优点，可以对太赫兹信号进行实时探测成像。该探测器基于窄禁带半导体的热载流子吸收效应，选用适当组成的碲镉汞材料，设计合理可行的天线耦合结构，进行光刻、腐蚀、溅射工艺制作，使用前置放大电路进行信号读出，从而实现对太赫兹信号的探测。本发明器件所用材料制备工艺成熟，可实现线列或阵列探测。

主权项

一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器，它由在碲锌镉衬底层(1)上依次生长碲镉汞Hg1 xCdxTe层(2)、碲化镉层(3)、硫化锌层(4)和电极层(5)组成，其特征在于：所述的碲锌镉衬底层(1)的厚度小于1.5mm；所述的碲镉汞Hg1 xCdxTe层(2)的厚度为3 12μm，其x值为0.18 0.32；所述的碲化镉层(3)的厚度为200nm；所述的硫化锌层(4)的厚度为100nm；所述的生长层碲镉汞Hg1 xCdxTe层(2)、碲化镉层(3)、硫化锌层(4)形状为矩形，尺寸a×b小于100×100μm2；所述的兼做耦合天线的电极层(5)，由金溅射制成，其厚度为200nm，覆盖硫化锌层(4)两侧表面和两侧边缘，并与碲镉汞Hg1 xCdxTe层(2)和碲化镉层(3)两侧边缘形成欧姆接触，大部分电极层5溅射在碲锌镉衬底层(1)上。