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发明名称 FILM FORMING APPARATUS AND METHOD OF FORMING FILM
摘要
申请公布号 KR20120023854(A) 申请公布日期 2012.03.13
申请号 KR20127001102 申请日期 2007.11.29
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED;ROHM CO., LTD. 发明人 MORISAKI EISUKE;KOBAYASHI HIROKATSU;YOSHIKAWA JUN;SAWADA IKUO;KIMOTO TSUNENOBU;KAWAMOTO NORIAKI;AKETA MASATOSHI
分类号 H01L21/205;C23C16/46 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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