| 摘要 |
본 고안은 LCD 제조용 Wet 장비 등에 사용되어 기판트레이를 이송시키는 리니어 모듈에 관한 것으로서, 메인프레임과 상기 메인프레임 내측에서 전,후로 슬라이딩되는 벨트지지유닛 및 상기 벨트지지유닛에 탄성력을 부가하여 이송벨트의 장력을 변화시켜주는 장력조절수단으로 구성됨으로써, 이송벨트의 장력이 자동으로 보정될 수 있게 하여 장기 사용에 따른 이송벨트의 이완에 의한 기판트레이의 이송 불량이나 진동, 소음 또는 분진 등의 발생을 차단하는 것은 물론 기판트레이의 장거리 이송에 따른 이송벨트의 길이 연장에도 효과적으로 대응할 수 있는 장력 조절수단이 구비된 리니어 모듈에 관한 것이다. |
