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发明名称 METHOD OF FORMING IN-SITU PRE-GAN DEPOSITION LAYER IN HVPE
摘要
申请公布号 KR20120023040(A) 申请公布日期 2012.03.12
申请号 KR20117028591 申请日期 2010.04.29
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 MELNIK YURIY;KOJIRI HIDEHIRO;KRYLIOUK OLGA;ISHIKAWA TETSUYA
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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