| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING METAL OXIDE FILM, METAL OXIDE FILM, AND APPARATUS FOR FORMING METAL OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20120022785(A) |
申请公布日期 |
2012.03.12 |
| 申请号 |
KR20117024585 |
申请日期 |
2009.04.20 |
| 申请人 |
TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS CORPORATION;KYOTO UNIVERSITY |
发明人 |
ORITA HIROYUKI;SHIRAHATA TAKAHIRO;YOSHIDA AKIO;FUJITA SHIZUO;KAMEYAMA NAOKI |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/448;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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