探针固定装置

摘要

一种探针固定装置，系应用于一藉由像散式光学模组产生检测源的原子力显微镜之中，其主要系供一探针结构组设，具有一固设平台，固设平台上则设有一固定构件，固定构件系供一像散式光学模组组设并受到限位，而常态性的置于固设平台的其中一平面，又，固定构件上进一步设有一探针夹持件及一探针，可供于探测检知时使用，如此，本创作藉由将探针夹持件与探针与像散式光学模组分设于本创作所称之探针固定装置之不同组件上，系可改善现今探针夹持件及探针易受其他组件作动影响，而导致探测结果产生误差的问题。