| 摘要 |
【课题】叶片型探针的交换可以容易且安全地进行。;【解决手段】支撑叶片型探针的探针组装体。在前述探针组装体，具备：块体片、及将前述叶片型探针隔有一定间隔支撑的2个开缝杆、及将各叶片型探针一体地支撑的导引杆、及支撑该导引杆的侧盖、及前述叶片型探针的交换作业时抑制前述叶片型探针从该开缝杆脱落的交换轴、及覆盖前述叶片型探针及前述开缝杆并且支撑前述交换轴的内盖、及面对于前述开缝杆的前述叶片型探针侧设置的嵌合部、及设在前述各叶片型探针与该嵌合部嵌合并将该叶片型探针对于该开缝杆定位并暂时固定的被嵌合部。 |
