磊晶基板及其制造方法以及利用该磊晶基板成长之发光二极体

摘要

本发明之磊晶基板上系形成有长晶过程中所形成之缺陷，各缺陷经湿式蚀刻后形成粗化表面，可简化有图案化蓝宝石基板(patterned sapphire substrate；pss)之制程。