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发明名称
内插件及使用其之电子机器
摘要
本发明目的在于提供一种新颖之内插件及其制造方法。该内插件具有由矽基板、形成于前述矽基板之复数个通孔导体、使前述通孔导体之凸起部部分延伸而形成之上部电极与下部电极及形成于两电极间之介电体层所形成的电容器,而根据希望所形成之再配线层则形成于与前述电容器不同之层。
申请公布号
TWI360210
申请公布日期
2012.03.11
申请号
TW096126344
申请日期
2007.07.19
申请人
揖斐电股份有限公司 日本
发明人
河野秀一
分类号
H01L23/488;H01L21/60
主分类号
H01L23/488
代理机构
代理人
恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项
地址
日本
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