电荷中和装置

摘要

本发明提供电荷中和器，其可藉由供给5eV以下最好为2eV之位准之低能量之电子，对于最前端之装置消除离子植入造成之充电和电子造成之损坏，而且可以因应大面积之基板13。;本发明之特征在于具备有：微波产生单元；电浆产生单元，其利用上述微波产生单元所产生之微波，用来产生电子电浆；和接触单元，其使上述电浆产生单元所产生之电子电浆，接触在包含离子束之射束电浆区域。