发明名称 正型感光性树脂组成物及使用它之硬化膜形成方法
摘要 本发明之课题系提供一种正型感光性树脂组成物及使用它之硬化膜形成方法,系感度、残膜率、保存安定性优良之正型感光性树脂组成物及使用它之硬化膜形成方法,其中藉由硬化来得到耐热性、黏附性及透射率等优良的硬化膜。;本发明之解决手段系提供一种正型感光性树脂组成物及使用它之硬化膜形成方法,该正型感光性树脂组成物系特征为含有具有藉由解离性基解离来产生羧基之特定的丙烯酸构成单位;及具有能够与羧基反应而形成共价键的官能基之构成单位;并含有硷不溶性或硷难溶性且该酸解离性基解离后时成为硷可溶性之树脂;及藉由照射活性光线或放射线来产生酸之化合物。
申请公布号 TWI360025 申请公布日期 2012.03.11
申请号 TW100113155 申请日期 2008.06.05
申请人 富士软片股份有限公司 日本 发明人 泷田敏
分类号 G03F7/039;G03F7/004;G03F7/40;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项
地址 日本