废气处理装置和处理废气之方法

摘要

本发明系有关于一种废气处理装置和以此装置处理含氟化合物之废气的方法。本发明的废气处理装置，包括一洗涤单元、一连接洗涤单元之除湿单元及一用以去除含氟化合物之乾式反应单元，连接该除湿单元。使用本发明废气处理装置处理含氟化合物之废气的方法，包括以下步骤：提供一包括含氟化合物之废气，使用一洗涤单元处理废气，使用一除湿单元处理洗涤单元处理过之废气，使用一乾式反应单元，处理除湿单元处理过之废气。