发明名称 光侦测器的制造方法
摘要 本发明为一种光侦测器的制造方法,包括:(a)提供一锗板,该锗板包括一第一加工区域及一第二加工区域;(b)降低缺陷处理至少该第一加工区域及该第二加工区域其中之一;及(c)于该锗板上形成一光侦测元件。
申请公布号 TWI360232 申请公布日期 2012.03.11
申请号 TW096121235 申请日期 2007.06.12
申请人 国立台湾大学 台北市大安区罗斯福路4段1号 发明人 刘致为;林楚轩;江彦德;徐正璋
分类号 H01L31/062;H01L21/265 主分类号 H01L31/062
代理机构 代理人 蔡清福 台北市中山区中山北路3段27号13楼
主权项
地址 台北市大安区罗斯福路4段1号