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发明名称
光侦测器的制造方法
摘要
本发明为一种光侦测器的制造方法,包括:(a)提供一锗板,该锗板包括一第一加工区域及一第二加工区域;(b)降低缺陷处理至少该第一加工区域及该第二加工区域其中之一;及(c)于该锗板上形成一光侦测元件。
申请公布号
TWI360232
申请公布日期
2012.03.11
申请号
TW096121235
申请日期
2007.06.12
申请人
国立台湾大学 台北市大安区罗斯福路4段1号
发明人
刘致为;林楚轩;江彦德;徐正璋
分类号
H01L31/062;H01L21/265
主分类号
H01L31/062
代理机构
代理人
蔡清福 台北市中山区中山北路3段27号13楼
主权项
地址
台北市大安区罗斯福路4段1号
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