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发明名称
在添加物存在下使用离子液体电沈积金属之方法
摘要
本发明系关于选自由非晶形氧化矽、石墨粉及其混合物所组成之群之添加物的用途,其系用于使用离子液体作为电解质于基板上电镀或电抛光一金属以提高金属层厚度之制程。本发明进一步系关于一种在一金属基板上电镀或电抛光一金属之方法,其中使用一离子液体作为电解质,其中使用一添加至该离子液体之金属盐或一金属阳极作为金属源,且其中该离子液体包括该添加物。
申请公布号
TWI359880
申请公布日期
2012.03.11
申请号
TW097129448
申请日期
2008.08.01
申请人
艾克索诺贝尔公司 荷兰
发明人
伯瑞斯 库兹曼诺维克;莲波黛 琼安娜 崴丽米纳 玛利亚 拿波丝 威默思;寇妮利 乔哈奈 哥瓦度丝 凡 史恩;法兰兹 温佛利得 威特;琼安娜 克利斯提那 史普尔曼
分类号
C25D3/02
主分类号
C25D3/02
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
荷兰
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