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发明名称
Semiconductor package inspection device
摘要
<p>상기와 같은 본 발명에 의하면, 낱개의 기판은 물론, 매거진에 수납된 다수의 기판을 하나의 장치에서 검사할 수 있어 종래 별도로 제작된 각 장치들의 제작 및 설치에 관한 비용을 절감시키고, 작업 효율성을 향상시킬 수 있다.</p>
申请公布号
KR101122693(B1)
申请公布日期
2012.03.09
申请号
KR20090090158
申请日期
2009.09.23
申请人
发明人
分类号
H01L21/66;H01L21/673
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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