发明名称 Probe pin for semiconductor testing equipment
摘要 <p>본 발명은 몸체의 내, 외측으로 인출입되는 핀로드가 형성된 경계지점의 목부를 보강하여 제품의 사용수명이 연장되도록 하고, 상기 몸체를 구성할 때 중공을 갖는 파이프 형태의 부재 일측을 절곡시켜 그 형태를 유지하도록 하므로써, 중공 내벽의 도금층이 보다 안정적이고 균일한 상태로 형성될 수 있도록 한 반도체 검사장비용 프로브핀에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은, 내부에 중공이 형성되고, 중공의 입구에는 내측으로 방사상 다수의 단속돌기가 형성된 몸체와; 상기 중공의 내측으로 인출입되는 핀로드가 형성되고, 핀로드의 몸체 측 단부에 상기 단속돌기에 의해 중공 내에서 인출입되는 거리가 제한되도록 한 거리제한홈이 형성된 단자핀과; 상기 단자핀과 몸체에 양단이 지지되어 핀로드의 인출입 구동에 탄력을 부여하는 스프링;을 포함하여 구성되고, 상기 몸체는 단자핀의 핀로드가 끼워지는 입구측과 그 반대측이 관통된 중공을 갖도록 형성된다.</p>
申请公布号 KR101116225(B1) 申请公布日期 2012.03.09
申请号 KR20100077688 申请日期 2010.08.12
申请人 发明人
分类号 G01R1/067;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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