| 摘要 |
<p>본 발명은 도포, 현상 장치, 기판 처리 방법 및 기록 매체로서, 복수의 처리 유니트 및 반송 기구 (A3, A4)를 포함하는 도포막형성부 (B3)과 복수의 처리 유니트 (31) 및 반송 기구 (A1)을 포함하는 현상 처리부 (B1)을 상하에 중복하여 처리 블럭 (S2)에 배치한다. 각 해당부의 반송 기구와의 사이에 기판 W의 수수가 행해지는 복수의 수수 유니트 (TRS)로서 상하에 중복하여 배치된 복수의 수수 유니트 (TRS)와 각 수수 유니트의 사이에 기판을 수수하는 승강 자유로운 수수 유니트용 반송 기구 (D1)이 처리 블럭 (S2)의 캐리어블럭 (S1)측에 설치된다. 도포막형성부현상 처리부중 적어도 어느 한쪽은 해당부의 반송 기구에 의해 반송되는 기판의 검사를 실시하는 기판 검사 유니트 (43)을 가지는 기판 검사 유니트를 구성함에 점유 면적이 좁고 불리한 레이아웃을 피할 수가 있는 도포, 현상 장치를 제공하는 기술을 제공한다.</p> |
