ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA GENERATING APPARATUS BY MULTI FLOATING INDUCTION ELECTRODE

摘要

본 발명을 적용하면, 대면적 시편을 효율적으로 처리할 수 있을 뿐만 아니라 3 차원 구조의 시편도 처리할 수 있고, 안정적으로 세정 및 표면개질 또는 가스 처리 등이 가능하게 할 수 있는 효과가 있다.