| 摘要 |
<p>본 발명은 슬리브 유닛 내부에서 기체의 흐름을 원활하게 하여 진공 환경을 신속하게 형성하도록 하는 슬리브 유닛 및 이를 이용한 주사 전자현미경에 관한 것으로서, 특히 본 발명의 일 실시예에 따른 슬리브 유닛은 전자빔의 이동 통로를 제공하는 슬리브 유닛으로서, 파이프 형상을 갖는 슬리브 본체와; 상기 슬리브 본체의 내부에 구비되어 상기 슬리브 본체의 내부 공간을 구획하며, 중앙 영역에는 상기 전자빔이 선별적으로 통과되는 미소 홀이 형성되는 적어도 하나 이상의 어퍼처를 포함하고, 상기 슬리브 본체와 상기 어퍼처의 조립부위 중 적어도 일부분은 서로 이격되어 공기가 유동되는 진공 유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.</p> |
