High Withstand Voltage Member

摘要

본 발명은 원자 번호 64 내지 71의 희토류 원소를 함유하는 산화물의 용사 피막을 포함하는 높은 내전압 용사 피막을 기재에 형성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 높은 내전압성 부재를 제공한다. 본 발명에 따르면, 내전압이 높은 부재를 제공할 수 있고, 이 때문에 유도체 롤, 가열 기판, 반도체 제조 장치의 정전 척, 기판 지지대 등으로서 바람직하게 사용된다.