发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON CMOS-BAUELEMENTEN |
摘要 |
|
申请公布号 |
DE3110477(A1) |
申请公布日期 |
1982.01.28 |
申请号 |
DE19813110477 |
申请日期 |
1981.03.18 |
申请人 |
INTEL CORP. |
发明人 |
K. YU,KENNETH;B. SEIDENFELD,MARK;T. BOHR,MARK |
分类号 |
H01L27/08;H01L21/225;H01L21/336;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 |
主分类号 |
H01L27/08 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|