发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON CMOS-BAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DE3110477(A1) 申请公布日期 1982.01.28
申请号 DE19813110477 申请日期 1981.03.18
申请人 INTEL CORP. 发明人 K. YU,KENNETH;B. SEIDENFELD,MARK;T. BOHR,MARK
分类号 H01L27/08;H01L21/225;H01L21/336;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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