PRESSURE SENSOR HAVING A PIEZORESISTIVE SENSOR CHIP ELEMENT

摘要

Die Erfindung betrifft einen Drucksensor umfassend ein piezoresistives Sensorchip-Element 2 mit abgeschlossener Chipkavität 27 zum Messen des Drucks eines das Element 2 umspülenden Druckmediums 14, mit einer Element-Unterseite 5, sowie einen Träger 6 mit einer Träger-Oberseite 7, auf der das Sensorchip-Element 2 an seiner Unterseite 5 befestigt ist, wobei diese Unterseite 5 einen Haftbereich 8 und einen äusseren Rand 10 aufweist, und wobei die Unterseite 5 im Haftbereich 8 an der Träger-Oberseite 7 haftet. Die Unterseite 5 weist einen Nichthaftbereich 9 auf, wobei die Unterseite 5 im Nichthaftbereich 9 nicht an der Träger-Oberseite 7 haftet. Zudem erstreckt sich der Nichthaftbereich 9 mindestens über eine mittig auf der Unterseite 5 angeordnete Kreisfläche 15, welche einen Drittel der Gesamtfläche der Element-Unterseite 5 umfasst, sowie mindestens einen Verbindungsbereich 16 von der Kreisfläche 15 zum Rand 10 der Unterseite 5. Dadurch kann sich der Druck im Druckmedium 14 durch den Verbindungsbereich 16 in einen Raum unter dem Nichthaftbereich 9 auf der Element-Unterseite 5 ausbreiten. Erfindungsgemäss weist der Träger 6 mittig unter dem Sensorchip-Element 2 eine Vertiefung 20 auf.