| 摘要 |
<p>대형의 기판에 정밀한 증착 패턴을 형성할 수 있도록, 본 발명은 증착원, 상기 증착원의 일 측에 배치되며, 일 방향을 따라 복수 개의 제1 슬릿들이 형성된 제1 노즐, 상기 증착원과 대향되도록 배치되고 상기 일 방향을 따라 복수 개의 제2 슬릿들이 형성된 제2 노즐, 상기 제2 노즐과 결합하여 상기 제2 노즐을 지지하는 제2 노즐 프레임, 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이의 공간을 구획하도록 상기 일 방향을 따라 배치된 복수 개의 제1 차단벽을 구비하는 제1 차단벽 어셈블리 및 상기 제1 차단벽 어셈블리의 일 측에 배치되며 상기 일 방향을 따라 배치된 복수 개의 제2 차단벽, 상기 제2 차단벽을 지지하고 상기 제2 차단벽과 결합하는 제2 차단벽 프레임을 구비하는 제2 차단벽 어셈블리를 포함하고, 상기 제2 차단벽이 상기 일 방향으로 슬라이드 운동을 하도록 상기 제2 차단벽과 상기 제2 차단벽 프레임이 슬라이드 결합된 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 소자 제조 방법을 제공한다.</p> |
