DEVICE FOR CONNECTING A VACUUM CHAMBER TO A VACUUM VALVE

摘要

Eine Vorrichtung zur Verbindung einer Vakuumkammer (1) mit einem Vakuumventil (2) umfasst erste und zweite Wände (14, 15), von denen die eine Wand Teil der Vakuumkammer (1) und die andere Wand Teil des Vakuumventils (2) ist, mindestens eine elastische Dichtung (17) zur Abdichtung der zweiten Wand (15) gegenüber der ersten Wand (14) und Verbindungsschrauben (18), die einen Schaft (18b, 18b') mit einem Schraubengewinde und einem Kopf (18a) aufweisen und die zur Verbindung der ersten Wand (14) mit der zweiten Wand (15) mit ihren Schraubengewinden mit einer jeweiligen Anzugskraft in die Gewindebohrungen (21) der zweiten Wand (15) eingeschraubt sind, wobei die erste Wand (14) zwischen vorderseitigen Anschlagflächen (23), die im Bereich zwischen der ersten Wand (14) und der zweiten Wand (15) liegen, und rückseitigen Anschlagflächen (24), die auf der von der zweiten Wand (15) abgewandten Seite der ersten Wand (14) liegen, positioniert ist. Zumindest ein Teil der Anzugskraft einer jeweiligen Verbindungsschraube (18), der mindestens 50% der Anzugskraft der jeweiligen Verbindungsschraube (18) beträgt, wird über mindestens ein Kraftübertragungselement (19, 20, 28, 33, 37, 38) ohne einen Kraftfluss über die erste Wand (14) auf die zweite Wand (15) übertragen.