| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen eines Höhenprofils einer Oberseite (2) eines Prüfkörpers (4) mit folgenden Schritten: a) Bestimmen eines ersten Teilhöhenprofils eines ersten Teils (10) der Oberseite (2) des Prüfkörpers (4) mittels eines Interferometers (14), wobei sich der Prüfkörper (4) in einer ersten Position befindet, b) Drehen des Prüfkörpers (4) um einen vorbestimmten Winkel a1 in eine zweite Position, c) Bestimmen eines ersten Kippwinkels ß1, um den der Prüfkörper (4) beim Drehen in die zweite Position relativ zur ersten Position verkippt wurde, d) Bestimmen eines zweiten Teilhöhenprofils eines zweiten Teils (20) der Oberseite (2) des Prüfkörpers (4) mittels des Interferometers (14), wobei sich der Prüfkörper (4) in der zweiten Position befindet, e) Bereinigen des zweiten Teilhöhenprofils um die Verkippung um den ersten Kippwinkel ß1, f) Zusammenfügen des ersten Teilhöhenprofils und des zweiten Teilhöhenprofils zu einem Höhenprofil des ersten Teils (10) und des zweiten Teils (20) der Oberseite (2) des Prüfkörpers (4).</p> |
