| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING A MEASURING TIP FOR A SCANNING PROBE MICROSCOPE AND MEASURING PROBE HAVING A MEASURING TIP PRODUCED ACCORDING TO SAID METHOD |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Messspitze für ein Rastersondenmikroskop, bei welchem auf einer zumindest bereichsweise mit Diamant beschichteten bestehenden Messspitze für das entsprechende Mikroskop aus der Diamantschicht zumindest eine Diamantnadel hergestellt wird, die über die bestehende Messspitze hinaus steht. Die Anmeldung betrifft außerdem eine Messsonde mit einer nach diesem Verfahren hergestellten Messspitze.</p> |
| 申请公布号 |
WO2012028314(A1) |
申请公布日期 |
2012.03.08 |
| 申请号 |
WO2011EP04393 |
申请日期 |
2011.08.31 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;SMIRNOV, WALDEMAR;KRIELE, ARMIN;WILLIAMS, OLIVER |
发明人 |
SMIRNOV, WALDEMAR;KRIELE, ARMIN;WILLIAMS, OLIVER |
| 分类号 |
G01Q70/12;B82Y15/00;B82Y35/00;C23C16/27;C23C16/56;C30B29/04;C30B33/08;G01Q70/14 |
主分类号 |
G01Q70/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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