| 摘要 |
<p>기판 건조 방법은 세정 공정을 거친 기판의 젖음 상태를 유지시키기 위하여 기판으로 약액을 공급하는 단계와, 젖음 상태의 기판을 건조 공정을 진행하기 위한 압력 용기 내부로 이송하는 단계와, 압력 용기 내부로 약액을 공급하여 기판의 젖음 상태를 유지시키는 단계와, 기판의 건조를 위해 건조용 가스를 상변화시켜 초임계 유체를 생성하는 단계와, 압력 용기의 내부로 초임계 유체를 공급하여 기판의 건조 공정을 진행하는 단계를 포함할 수 있다. 따라서, 기판은 초임계 유체에 의해 건조되기 전까지 젖음 상태를 유지하게 되므로 자연 건조에 의한 문제점을 개선할 수 있다.</p> |
