| 摘要 |
<p>Offenbart sind eine Mikroplasma-Quelle und ein Sterilisationssystem, welches dieselbe aufweist. Die Mikroplasma-Quelle weist auf: eine Mikroplasma-Erzeugungseinheit, aufweisend: eine Gaszufuhrkammer mit einem ersten Einlass und einem ersten Auslass, wobei der erste Einlass verwendet wird, um ein erstes Gas zu importieren; eine Schutz-und-Wärmeabfuhr-Kammer, von der eine Seite mit der inneren Wand von dem ersten Auslass verbunden ist; ein dielektrisches Innenrohr, welches einen zweiten Einlass und einen zweiten Auslass hat und welches die Schutz-und-Wärmeabfuhr-Kammer durchdringt, wobei der zweite Einlass mit der Gaszufuhrkammer verbunden ist; eine Elektrode, welche an dem zweiten Auslass außen angeordnet ist sowie in der Schutz-und-Wärmeabfuhr-Kammer angeordnet ist; und ein hohles Metallrohr, welches in der Gaszufuhrkammer und dem dielektrischen Innenrohr angeordnet ist und einen dritten Einlass und einen dritten Auslass hat, wobei der dritte Einlass verwendet wird, um ein zweites Gas zu importieren.</p> |
