基板涂胶系统及涂胶方法

摘要

本发明公开了一种基板涂胶系统，包括装载机构、涂胶机构、干燥机构及传输机构，基板按层装配于装载机构上，涂胶机构设于装载机构与干燥机构之间，装载机构、涂胶机构及干燥机构形成一条生产线，生产线包括两组涂胶机构及两组干燥机构，涂胶机构包括依次排列的底胶涂覆机构和旋涂机构，底胶涂覆机构设于装载机构与旋涂机构之间对基板进行涂覆底胶处理，旋涂机构设于底胶涂覆机构与干燥机构之间对经过涂覆底胶处理的基板进行涂覆光刻胶处理，位于同一侧的每一涂胶机构及干燥机构依次排列构成一条生产支线从而具有两条生产支线，两条生产支线对称设置且两条生产支线之间设有若干传输机构，若干传输机构均为机械手，机械手同时控制两条生产支线工作。

主权项

一种基板涂胶系统，包括装载机构、涂胶机构、干燥机构及传输机构，若干基板按层装配于所述装载机构上，所述涂胶机构设于所述装载机构与所述干燥机构之间，所述装载机构、涂胶机构及干燥机构依次排列形成一条生产线，其特征在于，所述生产线包括两组所述涂胶机构及两组干燥机构，所述涂胶机构包括依次排列的底胶涂覆机构和旋涂机构，所述底胶涂覆机构设于所述装载机构与所述旋涂机构之间对基板进行涂覆底胶处理，所述旋涂机构设于所述底胶涂覆机构与所述干燥机构之间对经过涂覆底胶处理后的基板进行涂覆光刻胶处理，位于同一侧的每一所述涂胶机构及干燥机构依次排列构成一条生产支线从而具有两条生产支线，两条所述生产支线对称设置且两条所述生产支线之间设有若干个所述传输机构，若干个所述传输机构均为机械手，所述机械手同时控制两条所述生产支线工作。