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发明名称
Semiconductor structure and method for manufacturing the same
摘要
申请公布号
GB2483405(A)
申请公布日期
2012.03.07
申请号
GB20110021727
申请日期
2010.09.26
申请人
INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OFSCIENCES
发明人
HAIZHOU YIN;ZHIJIONG LUO;HUILONG ZHU
分类号
H01L21/336;H01L21/44;H01L29/41;H01L29/786
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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