发明名称 |
半导体装置及半导体封装结构 |
摘要 |
本发明提供一种半导体装置,包括:半导体基板,具有上表面与下表面,该上表面包含至少一装置区;至少一沟槽,从该基板下表面穿过该基板,并连接至该装置区;导电层,填入部分该沟槽;以及粘着层,沉积于该导电层上,并填满该沟槽。根据本发明的封装技术可使用热分散层,使得装置有较佳的热分散效果。此外,封装过程中不会有任何焊盘污染的事情发生,同时其芯片尺寸也小于倒装提供的芯片尺寸。 |
申请公布号 |
CN101110401B |
申请公布日期 |
2012.03.07 |
申请号 |
CN200710005832.2 |
申请日期 |
2007.02.25 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
卢思维;邹觉伦 |
分类号 |
H01L23/485(2006.01)I;H01L25/00(2006.01)I;H01L25/065(2006.01)I;H01L25/18(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/485(2006.01)I |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
陈晨 |
主权项 |
一种半导体装置,包括:半导体基板,具有上表面与下表面,该上表面包含至少一装置区;至少一沟槽,从该基板下表面穿过该基板,并连接至该装置区;阻障层,形成于该沟槽侧壁;导电层,填入部分该沟槽;粘着层,沉积于该导电层上和该基板下表面,并填满该沟槽;以及至少一伪沟槽,从该基板下表面至少穿过部分该基板,其中该导电层填入部分该伪沟槽,该粘着层填满该伪沟槽。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |