发明名称 半导体装置及半导体封装结构
摘要 本发明提供一种半导体装置,包括:半导体基板,具有上表面与下表面,该上表面包含至少一装置区;至少一沟槽,从该基板下表面穿过该基板,并连接至该装置区;导电层,填入部分该沟槽;以及粘着层,沉积于该导电层上,并填满该沟槽。根据本发明的封装技术可使用热分散层,使得装置有较佳的热分散效果。此外,封装过程中不会有任何焊盘污染的事情发生,同时其芯片尺寸也小于倒装提供的芯片尺寸。
申请公布号 CN101110401B 申请公布日期 2012.03.07
申请号 CN200710005832.2 申请日期 2007.02.25
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 卢思维;邹觉伦
分类号 H01L23/485(2006.01)I;H01L25/00(2006.01)I;H01L25/065(2006.01)I;H01L25/18(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I 主分类号 H01L23/485(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人 陈晨
主权项 一种半导体装置,包括:半导体基板,具有上表面与下表面,该上表面包含至少一装置区;至少一沟槽,从该基板下表面穿过该基板,并连接至该装置区;阻障层,形成于该沟槽侧壁;导电层,填入部分该沟槽;粘着层,沉积于该导电层上和该基板下表面,并填满该沟槽;以及至少一伪沟槽,从该基板下表面至少穿过部分该基板,其中该导电层填入部分该伪沟槽,该粘着层填满该伪沟槽。
地址 中国台湾新竹市