发明名称 |
一种小体积高耐压IGBT |
摘要 |
一种小体积高耐压IGBT,属于半导体器件制造技术领域。包括半导体基板上的有源区(101)和边缘区(102),有源区(101)位于半导体基板的中心区,边缘区(102)环绕在有源区(101)的四周上方,边缘区(102)的下方主扩散结(1)的上方覆盖有SiO2层(6),其特征在于:有源区(101)和边缘区(102)的主扩散结(1)为贯穿半导体基板中心区的PN结平面层,SiO2层(6)外围及边缘区(102)侧面覆盖有钝化层(9)。与现有技术相比,省去高压终止区架构和多个P-降压环,可减小IGBT的体积30%-60%;取消IGBT主扩散结的弯曲弧度部位,可降低电场强度,提高耐压性能等优点。 |
申请公布号 |
CN202159669U |
申请公布日期 |
2012.03.07 |
申请号 |
CN201120291890.8 |
申请日期 |
2011.08.12 |
申请人 |
淄博美林电子有限公司 |
发明人 |
关仕汉;吕新立 |
分类号 |
H01L29/739(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/739(2006.01)I |
代理机构 |
淄博佳和专利代理事务所 37223 |
代理人 |
孙爱华 |
主权项 |
一种小体积高耐压IGBT,包括半导体基板上的有源区(101)和边缘区(102),有源区(101)位于半导体基板的中心区,边缘区(102)环绕在有源区(101)的四周上方,边缘区(102)的下方主扩散结(1)的上方覆盖有SiO2层(6),其特征在于:有源区(101)和边缘区(102)的主扩散结(1)为贯穿半导体基板中心区的PN结平面层,SiO2层(6)外围及边缘区(102)侧面覆盖有钝化层(9)。 |
地址 |
255000 山东省淄博市张店区张柳路6号 |