| 摘要 |
<p>본 발명은 필름두께 측정시스템 및 그 측정방법에 관한 것이다. 본 발명은 측정대상필름으로 조사된 광원의 양을 검출하는 섬광검출기; 및 섬광검출기에서 흡수된 광원의 양에 비례하는 펄스파형 신호에 대한 일정레벨 이상으로 상승한 상향레벨 신호(이하, 제1 기준신호)와 제1 기준보다 낮은 일정레벨 이상으로 상승한 상향레벨 신호(이하, 제2 기준신호)를 검출하고, 제2 기준신호에서 제1 기준신호를 차감한 신호를 생성하여 출력하는 노이즈제거장치; 를 포함할 수 있다. 이에 의해, 노이즈가 제거된 필름두께 측정 데이터를 획득할 수 있다.</p> |
