在各种表面上的光学位移检测的方法和装置

摘要

本发明的各实施例使一光学装置能够在一上面放置有一透明及/或半透明及/或光学上光滑的表面的漫射表面上进行示踪。某些实施例旨在检测光学装置何时被抬离其所位于的表面上。本发明的各实施例还包括一种用于检测z距离(距示踪表面的距离)及通过提高光学传感器子系统及/或照明子系统在所检测z距离处的有效性来提高图像质量的传感系统。其他实施例包括一种使一光学装置能够在一单独的透明及/或半透明及/或光学上光滑的表面上进行示踪的系统及方法。此可涉及到根据在透明表面上早已存在的某些形体来进行暗视场成像。另一选择为，此可涉及到形成例如小液滴等形体、散布灰尘残留物、及形成热点-此可用于进行示踪。

主权项

一种能够在一材料层的一表面上进行示踪的光学输入装置的暗视场光学位移检测系统，所述材料层使至少某些光穿过所述层，所述表面上具有灰尘残留物或液体的小液滴，所述系统包括：一用于对所述表面进行照明的光源；一定位成从所述表面上的所述灰尘残留物或液体的小液滴接收至少某些衍射光但不接收从所述表面反射的零级光的透镜；及一光学耦合至接收所述至少某些衍射光的所述透镜的检测器。