Susceptor and Atomic Layer Deposition Apparatus Having the Same,申请号KR20100009060U-传众专利搜索

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发明名称	Susceptor and Atomic Layer Deposition Apparatus Having the Same
摘要
申请公布号	KR20120001661(U)	申请公布日期	2012.03.08
申请号	KR20100009060U	申请日期	2010.08.30
申请人		发明人
分类号	H01L21/683;C23C16/455;H01L21/205	主分类号	H01L21/683
代理机构		代理人
主权项
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