热电型检测器、热电型检测装置以及电子设备

摘要

本发明提供了热电型检测器、热电型检测装置和电子设备。该热电型检测器具有：热电型检测元件，该热电型检测元件包括具备热电材料的电容器和保护电容器免受还原气体侵入的第一还原气体阻隔膜；搭载热电型检测元件的支撑部件；以及支撑该支撑部件的一部分从而将热电型检测元件热分离的支撑部。支撑部件包括搭载电容器的搭载部件和与搭载部件连结的臂部件，第一还原气体阻隔膜被形成为在搭载部件的第一外周缘与电容器的第二外周缘之间具有第三外周缘的孤立图案。

主权项

一种热电型检测器，其特征在于，具有：热电型检测元件，所述热电型检测元件包括电容器和保护所述电容器免受还原气体侵入的第一还原气体阻隔膜，所述电容器包括第一电极、第二电极以及配置在所述第一电极和所述第二电极之间的热电材料；支撑部件，所述支撑部件包括第一面和与所述第一面相对的第二面，所述第二面面对空穴部配置，在所述第一面上搭载所述热电型检测元件；以及支撑部，所述支撑部支撑所述支撑部件的所述第二面的一部分，所述支撑部件包括搭载所述电容器的搭载部件和与所述搭载部件连结的臂部件，所述第一还原气体阻隔膜被形成为在俯视图中在所述搭载部件的第一外周缘与所述电容器的第二外周缘之间具有第三外周缘的孤立图案。