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经营范围
发明名称
TRANSPORT SYSTEM WITH BUFFERING
摘要
申请公布号
EP2183771(A4)
申请公布日期
2012.03.07
申请号
EP20080829041
申请日期
2008.09.07
申请人
MURATEC AUTOMATION CO., LTD.
发明人
ANDO, MITSUHIRO
分类号
H01L21/677
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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