发明名称 TRANSPORT SYSTEM WITH BUFFERING
摘要
申请公布号 EP2183771(A4) 申请公布日期 2012.03.07
申请号 EP20080829041 申请日期 2008.09.07
申请人 MURATEC AUTOMATION CO., LTD. 发明人 ANDO, MITSUHIRO
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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