| 发明名称 | 铪系化合物、形成铪系薄膜的材料和形成铪系薄膜的方法 | ||
| 摘要 | 提供常温下为液体并富有稳定性的铪系化合物。还提供可稳定供应原料、稳定形成高品质的铪系薄膜的技术。特别是提供为下述通式[I]表示的化合物的形成铪系薄膜的材料。通式[I]：LHf(NR1R2)3 ，其中，L为环戊二烯基或取代的环戊二烯基；R1、R2为烷基，R1和R2彼此相同或不同。 | ||
| 申请公布号 | CN101341155B | 申请公布日期 | 2012.03.07 |
| 申请号 | CN200680045244.5 | 申请日期 | 2006.11.29 |
| 申请人 | TRI化学研究所股份有限公司 | 发明人 | 平木忠明;三桥智;太附圣;椿谷晓人;金炳洙;刘升镐 |
| 分类号 | C07F7/00(2006.01)I;C23C16/18(2006.01)I | 主分类号 | C07F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 吴娟;李平英 |
| 主权项 | 化合物，其特征在于：以下述通式[I]表示，通式[I]CpHf(NR1R2)3其中，Cp为环戊二烯基；R1、R2为甲基或乙基，R1和R2彼此不同或相同。 | ||
| 地址 | 日本山梨县 | ||