Beleuchtungssystem zur Erkennung der Geometrie von Glassubstraten in optischen Prealignern

摘要

Vorrichtung zur Beleuchtung von transparenten und/oder halbtransparenten scheibenförmigen Substraten (5) aller Art und Geometrie, um eine ganz oder teilweise Erkennung der Geometrie des scheibenförmigen Substrates (5) in einem optischen Detektor (1) zu ermöglichen, dadurch gekennzeichnet, dass in das zu erkennende scheibenförmigen Substrat (5) seitlich durch eine Beleuchtungseinrichtung (3) Licht eingestrahlt wird, um eine Totalreflektion in der Scheibe (5) zu erzeugen. Die Grenzflächen (und somit die Geometrie) des scheibenförmigen Substrates (5) werden dadurch sichtbar (Einfallswinkel Grenzwinkel).