| 摘要 |
개시된 개념들은 패턴에 대응하는 이미지 필드 맵을 생성하여 기판의 표면 상에 형성될 패턴에 대한 어시스트 피처를 생성하는 방법, 프로그램물 및 장치를 포함한다. 이미지 필드 맵으로부터 특성들이 추출되고, 어시스트 피처들은 단계에서 추출된 특성들에 따른 패턴에 대해 생성된다. 상기 어시스트 피처들은 이미지 필드 맵의 외형의 지배적인 축선에 대하여 배향될 수 있다. 또한, 상기 어시스트 피처들은 외형의 내부에 대하여 또는 외형을 둘러싸도록 다각형 모양이거나 사이징될 수 있다. 또한, 상기 어시스트 피처들은 이미지 필드 맵으로부터 식별된 극값들에 따라 배치될 수도 있다. 이미지 필드 맵을 이용하여, 어시스트 피처를 생성하는 종래의 복잡한 2차원 규칙-기반 접근법이 생략될 수 있다. |
