| 摘要 |
<p>절연막 증착공정에서 구리합금 배선에 대한 열처리 공정을 겸하였던 종래와 달리, 본 발명은 절연막 증착 공정 이전에 구리합금 배선에 대한 별도의 열처리 공정을 수행하여 도펀트(금속)를 강제 산화시킴으로써 구리합금 배선 표면측으로의 도펀트 강제확산을 유도하고자 하는 액정표시소자의 제조방법에 관한 것으로서, 기판 위에 구리와 구리보다 산화형성에너지가 큰 금속이 혼합된 구리합금을 증착하는 공정; 상기 구리합금을 패터닝하여 구리합금 배선을 형성하는 공정; 및 상기 구리합금 배선에 대해 산소 분위기 하에서 열처리를 수행하여 상기 구리보다 산화형성에너지가 큰 금속을 상기 구리합금 배선 표면으로 확산시켜 상기 구리합금 배선 내부의 구리 순도를 높이는 공정을 포함한다.</p> |
