发明名称 METHOD FOR PURIFYING POLYCRYSTALLINE SILICON
摘要 The invention relates to a method for purifying polycrystalline silicon. In said method, the flow of the purification solutions is improved in the process.
申请公布号 CA2694012(C) 申请公布日期 2012.03.06
申请号 CA20082694012 申请日期 2008.08.08
申请人 WACKER CHEMIE AG 发明人 WOCHNER, HANNS;GOSSMANN, CHRISTIAN;LINDNER, HERBERT
分类号 C01B33/00;H01L21/00 主分类号 C01B33/00
代理机构 代理人
主权项
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