REPAIRING METHOD AND APPARATUS THEREFOR

摘要

본 발명의 리페어 방법 및 장치에서는, 유리 기판(2) 상의 결함부를 촬상하여 취득된 결함 화상 데이터로부터 결함부의 형상 데이터를 추출하고, 상기 형상 데이터에 따라 DMD 유닛(16)의 각각의 미소 미러를 고속으로 각도를 제어하고, 이들 미소 미러에서 반사한 레이저광 r의 단면 형상을 결함부의 형상과 대략 일치시켜서 결함부에 조사한다.